中频500w电源等离子清洗机,
等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性
中频500w电源等离子清洗机KT-Z5KQX
供电电源
AC220V(AC110V可选)
工作电流
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率
500W可调
射频频率
40kHz
耦合方式
电容耦合
真空度
≤30Pa
腔体容积
5L(内径 152mmX 深度 280mm)
载物规格
125mmX260mm
气体流量
0—50ml/min(其他量程可选)
气体路数
2 路质量流量计+精密流量控制阀
过程控制
自动控制
清洗时间
手动开关
开盖方式
铰链侧开式法兰
真空室温度
小于65°C
外形尺寸
450x450x250mm
冷却方式
强制风冷
标配
KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本,机械泵一台
郑州科探仪器设备有限公司
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