四氯化硅是化学式为SiCl4的无机化合物，由永斯·贝采利乌斯于1823年发现。
化学反应
与四氯化碳不同，四氯化硅与水迅速反应生成二氧化硅和氯化氢。反应也会产生中间体SiCl3(OH)、SiCl2(OH)2和SiCl(OH)3，它们可以在低温下分离。
SiCl4+2H2O→SiO2+4HCl
四氯化硅也会和氟化氢交换卤素，生成通式为SiClxF4-x的中间体，最终产生四氟化硅。
SiCl4+4HF→SiF4+4HCl
它和正丁基锂在乙醚里反应，生成四丁基硅烷：
SiCl4+4LiC4H9→Et2OSi(C4H9)4+4LiCl
它与甲醇或乙醇反应则分别得到硅酸四甲酯和硅酸四乙酯：
SiCl4+4ROH→Si(OR)4+4HCl
高温下与硅发生归中反应：
Si+SiCl4→Si2Cl6+ 同系物
用途
四氯化硅沸点较低，多次分馏可用于生产多晶硅；也可用于生产高纯的合成石英玻璃（熔融石英）。它可被氢气还原为硅，也可水解为二氧化硅。大量的高纯硅应用在半导体工业和光电池中。
处理方法
CN101941678B公开了一种四氯化硅的处理方法，其特征在于，使四氯化硅与冰混合反应。本发明中的处理四氯化硅的方法，简单易行，容易操作，无需加热，无需高温高压环境即可进行，处理过程节能。处理过程对设备要求低。而且采用冰作为反应原料之一，原料来源广泛，容易提供，成本极低。最终产生的产物可用于工业用途，既处理了对环境有较高污染的四氯化硅，又可以生成具有广泛工业用途的化学原料，真正实现变废为宝。
危害
摄入和吸入有毒四氯化硅，而且它对皮肤、眼睛和粘膜有刺激性。和其它氯代硅烷一样，四氯化硅的毒性源自水解形成的氯化氢。此外，在多晶硅的制造过程中，四氯化硅会污染环境。