三氟碘甲烷的应用

2023/2/22 11:02:27 作者:小满

三氟碘甲烷(CF3I)作为半导体刻蚀气体用于3D NAND Flash先进制程,与同种刻蚀气体CF4,C4F6相比,三氟碘甲烷(CF3I)具有高选择性和高深宽比。它作为电气设备绝缘与灭弧气体用于温室气体SF6的替代,绝缘强度大约为SF6的1.23倍以上,击穿分解后不会产生有毒产物;它作为灭火剂主要用于哈龙灭火剂的替代,具有灭火效率高、安全性能好、经济效用高、灭火后不留痕迹等特点;它作为制冷剂主要用于传统氟利昂制冷剂CFCs、HCFCs、HFCs的替代,具有不燃、油溶性和材料相容性很好的特点,已被联合国列入第3代环保制冷剂的主要组元。

三氟碘甲烷的结构式.jpeg

此外,三氟碘甲烷还能与有机金属试剂作用,是有机合成中引入氟代甲基的重要含氟中间体,可广泛应用于有机合成、生物化学、农药、医药、表面活性剂和染料等领域。

三氟碘甲烷,又称三氟甲基碘(以下称CF3I),分子式CF3I,代号FIC-13I1、Freon13I1、R–1311。其环保特性优异:ODP值为在0.0001以下,GWP值为1,大气寿命小于1.2天。具备安全性好,无毒、阻燃、油溶性和材料相容性好等特点。

目前,三氟碘甲烷的生产、纯化技术一直由发达国家化学品公司垄断,严重依赖进口,受控于国际市场,价格高,订货周期长、运输困难。国内三氟碘甲烷的研究、生产尚处于初步阶段。伴随着国际环保公约阶段性强制推行,国内对温室气体减排要求提高,低GWP气体CF3I备受推崇,随着CF3I的应用开发日益增加,作为灭火剂、混合制冷成分、刻蚀剂、绝缘气体、含氟中间体等使用,其市场需求明显增加,国产化规模生产技术的开发日益迫切。

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