三氯氢硅

三氯氢硅，也称为三氯硅烷，是一种含有硅和氯元素的化合物，化学式为SiHCl3。它是一种具有挥发性的液体，常温下为无色透明状，具有强烈的刺激性气味，在空气中易燃。

三氯氢硅易溶于苯、醚、氯仿和二硫化碳等有机溶剂。熔点为-126.5℃，沸点为31.8℃，闪点为-13.9℃。属一级遇湿易燃易爆物品，自燃温度为185℃，在空气密度为1时，蒸汽相对密度为4.7，在空气中爆炸极限为1.2～90.5%（体积分数）。遇水反应产生氯化氢气体；它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。其火灾危险性属甲B类。三氯氢硅可分为工业级和电子级两种。工业级三氯氢硅主要用于合成其他有机硅化合物，如硅树脂、硅橡胶等；电子级三氯氢硅则主要用于制造半导体器件和太阳能电池。三氯氢硅是生产半导体硅、单晶硅和多晶硅的重要原料，亦是合成有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷最基本的单体。它不仅可以用于生产高纯度硅材料，还可以作为添加剂应用于塑料、橡胶、涂料等领域。此外，三氯氢硅还可用于合成高效、环保的制冷剂和发泡剂等。三氯氢硅合成生产工艺：硅粉用人工加入硅粉干燥器，用蒸汽加热至一定的温度，然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐，最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉，与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应；生成的气体经重力沉降器、布袋过滤器、高沸物去除器、2级冷凝器后得到粗品三氯氢硅；粗品三氯氢硅经计量槽放入氯化料储槽。