三甲基硼-d9

三甲基硼-d9 基本信息

中文名称三甲基硼-d9
中文同义词氘代三甲基硅烷;三甲基硼-d9
英文名称TRIMETHYLBORON-D9
英文同义词TRIMETHYLBORON-D9;Trimethylborondelecgrcolorlessgas;TRIMETHYLBORON-D9, 99 ATOM % D, ELECTRON;99atom%delectronicgrade;Deuterated Trimethylboron;Deuterium trimethylsilane
CAS号6063-55-4
分子式C3BD9
分子量64.97
EINECS号
相关类别BoronChemical Synthesis;Compressed and Liquefied Gases;Precursors by Metal;Synthetic Reagents;Vapor Deposition Precursors
Mol文件6063-55-4.mol
结构式三甲基硼-d9 结构式

三甲基硼-d9 性质

熔点-161,5°C
沸点-20,2°C
蒸气密度2.3 (vs air)

三甲基硼-d9 用途与合成方法

用途 
三甲基硼-d9衍生的硼-碳膜的沉积可提高装置的性能。

安全信息

危险品标志F,C
危险类别码17-34
安全说明7-23-26-36/37/39-43-45
危险品运输编号UN 3160 2.3
WGK Germany1

MSDS信息

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