方法1：在无有机碱存在下，三氯化磷和乙醇生成亚磷酸二乙酯；而在有机碱存在下，则得到亚磷酸三乙酯。亚磷酸三乙酯和氯甲酸乙酯在160℃下反应后，收集148～150℃/2.40kPa的馏分，可得膦甲酸三乙酯，收率71%。而亚磷酸二乙酯在无水乙醚中、金属钠存在下，和氯甲酸乙酯在室温下反应，也可得膦甲酸三乙酯，收率80%。$S001$S
21份膦甲酸三乙酯溶于含有24份50%氢氧化钠的60份水中，回流2h。冷却过夜，过滤得4.7份膦甲酸钠的六水合物，熔点＞250℃。$S002$S
方法2：新研细的氰化钠置四氯化碳中，在约10℃下滴加等摩尔的亚磷酸二乙酯，再在35℃下反应3h。过滤，浓缩，减压蒸馏，得氰代磷酸二乙酯，收率72%，沸点88～91℃/1.46kPa。将其和40%氢氧化钠一起回流2h，过滤，用水重结晶，得膦甲酸钠六水合物，收率52%，熔点＞250℃。$S003$S |